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PECVD系统

PECVD系统

PECVD系统产品简介为了降低化学沉积温度,利用了等离子体的活性来促进反应,这种CVD系统称之为等离子体增强型化学气相沉积系统(PECVD),
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产品介绍
PECVD系统1


PECVD系统
 
产品简介
为了降低化学沉积温度,利用了等离子体的活性来促进反应,这种CVD系统称之为等离子体增强型化学气相沉积系统(PECVD),该设备可以根据气体的种类数量、射频功率大小、气体是否需要预热、沉积所需温区随意定制。
 
主要参数
型号 QJ1200-PE60 QJ1200-PE60Y
工作温度 ≤1000℃ ≤1000℃
升温速率 10℃/min 10℃/min
气体预热区 200mm
沉积区长度 200mm 440mm
恒温区长度 100mm 220mm
石英管管径 50/60mm 50/60/80/100mm
控温方式 30段PID程序控温 30段PID程序控温
射频功率 100/300/500W自匹配 100/300/500W自匹配
射频频率 13.56Mhz 13.56Mhz
真空泵抽速 4L/s 4L/s
真空度 ≤10Pa ≤10Pa
进气种类 1~4种 1~4种
功率 220V/4kw 220V/7kw
 

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